溅射离子泵
SIP001
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SIP010
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SIP025
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SIP050
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SIP075
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SIP1000
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产品参数
PRODUCT PARAMETERS
| 型号 | SIP001 | SIP005 | SIP010 | SIP025 | SIP050 | SIP075 | SIP100 | SIP200 | SIP400 | SIP500 | SIP500T | SIP600 | SIP1000 | SIP1500 | SIP2000 | |||||||||||||||
| 抽气速率（L/S） （再生抽速最大值） |
N2 | 1 (at 1×10-5Pa) | N2 | 5 (at 1×10-5Pa) | N2 | 10 (at 1×10-5Pa) | N2 | 25 (at 1×10-5Pa) | N2 | 50 (at 1×10-5Pa) | N2 | 75 (at 1×10-5Pa) | N2 | 100 (at 1×10-5Pa) | N2 | 200 (at 1×10-5Pa) | N2 | 400 (at 1×10-5Pa) | N2 | 500 (at 1×10-5Pa) | N2(LN2) | 850 (at 1×10-5Pa) | N2 | 600 (at 1×10-5Pa) | N2 | 1000 (at 1×10-5Pa) | N2 | 1500 (at 1×10-5Pa) | N2 | 2000 (at 1×10-5Pa) |
| 极限压强（Pa） （环境温度≤25℃） |
≤1.0×10-6 | ≤5.0×10-7 | ≤1.0×10-8 | ≤1.0×10-8 | ≤8.0×10-9 | ≤3.0×10-9 | ≤3.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | ≤3.0×10-9 | ≤6.0×10-10(LN2) | ≤2.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | |||||||||||||||
| 启动压强（Pa） | ≤1×10-3 | ≤1×10-3 | ≤1×10-3 | ≤1×10-3 | ≤1×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | |||||||||||||||
| 接口法兰 | CF16 | CF40 | CF40 | CF40 | ?CF100 | CF63 | CF100 | CF150 | CF150 | CF150 | CF150 | CF200 | CF200 | CF200 | CF250 | |||||||||||||||
| 阳极电压（kV） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | ≤+7（dc） | |||||||||||||||
| 烘烤温度（℃） | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | |||||||||||||||
| 内置烘烤功率（kW） | —— | —— | —— | —— | 0.2 | 0.28 | 0.28 | 0.62 | 0.68 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 1.2 | 2 | 3 | |||||||||||||||
| 外形尺寸（mm） （L×W×H） |
114×54×56 | 143×79×81 | 221.5×94×126 | 173×134×206.5 | 246×156×237 | 296×163×308 | 296×163×308 | 442×155.6×444.5 | 442×246×444.5 | 447×328×444.5（500A） | 447×578×444.5 | 492×328×451.5 | 512×582×451.5 | 512×382×950 | 550×620×950 | |||||||||||||||
| 重量（Kg） | 1.2 | 2.5 | 8.5 | 12.5 | 22 | 35 | 35 | 60 | 95 | 130 | 138 | 138 | 224 | 300 | 450 | |||||||||||||||
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